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近日，睿励科学仪器(上海)有限公司（以下简称「睿励科学仪器」）成功完成数亿元B轮融资。本轮融资由金石投资、招商致远领投，清控金信、河南资产、鼎青投资等资方跟投。融资资金将用于高精度光学量检测系列产品的研发和市场化推广，进一步丰富公司的产品矩阵，加速扩大生产并加强公司的市场拓展和品牌建设。

「睿励科学仪器」成立于2005年，是一家专注于半导体前道工艺的量检测设备公司，为国家级高新技术企业、国家级专精特新“小巨人”，先后承担两个国家级“02专项”，具备全自主研发技术。公司总部位于上海浦东新区，团队成员多来自全球前两位量检测设备企业和国内知名光学技术公司，拥有18年的产品开发和市场应用经验。

在半导体产业中，量检测设备是确保工艺质量、提高良率的关键工具。特别是在复杂的芯片结构中，每次光刻工艺循环都会带来多次量检测的需求。近年来，随着国内半导体产业的快速发展和产业升级，对高端、精密的半导体设备需求不断增加。量检测设备作为晶圆厂设备（WFE）的重要组成部分，其市场规模约占半导体设备市场的13%。

然而，长期以来，全球半导体量检测设备市场呈现国外头部公司垄断格局。中国半导体量测设备多依赖进口，国产化率较低，面临高端人才稀缺、技术壁垒高、量产难度大和核心零部件国外依赖度等多重挑战。

「睿励科学仪器」专注于光学技术，在高精度光学量测和检测领域持续耕耘，提出自研算法模式、独立设计的光学架构，打破国际厂商垄断，已在先进制程工艺节点率先完成了介质膜厚量测产品和明场缺陷图形检测产品的交付和大规模量产。

其产品成熟度高，量产性能可匹配国外同类设备水平，可靠性验证超过10年，在各类客户不同的生产工艺产线上都通过了大规模量产的验证。目前，「睿励科学仪器」的客户涵盖了逻辑代工、3D闪存、动态存储器、先进封装等领域，广泛应用于300mm、200mm、150mmfab厂，出货量超过数百台。

「睿励科学」每年研发投入比高达40%，本次融资完成后，预计将吸引更多高端人才加入，持续保持高强度的产品研发投入。公司在上海浦东建有生产基地，年产能超过150台、满产后可支持15亿元的年产值。

金石投资和招商致远表示，他们看好「睿励科学仪器」在半导体量检测领域的前景和实力，相信其将继续保持技术和产品领先，帮助实现国产替代的突破和发展。

「睿励科学仪器」部分产品图

（图片来源：https://artpaper.com.cn/zb_users/upload/2024/11/20241109200235173115375548119.jpg）

硬氪了解到，「睿励科学仪器」的产品已经通过大规模量产的验证，并在国内外客户中建立了良好的口碑。未来，随着技术的不断进步和市场的持续扩大，「睿励科学仪器」有望成为中国半导体量检测领域的重要力量，为国产半导体产业的发展贡献更多力量。